器件 II · pn 结与二极管
层次:本科核心。 pn 结是半导体器件的第一个"结构"——两块掺杂不同的硅接在一起。它本身是二极管、太阳能电池、LED;更重要的是,它是 MOSFET 源漏与衬底之间的隔离,也是 CMOS 里那个必须小心提防的寄生结构。本页的分析方法(能带图 + 费米能级对齐)会在后面每个器件里重复使用。
二、内建电势:接触时发生了什么
把 n 型与 p 型硅接在一起,四步推理(这套推理请记住,后面反复用):
- 浓度梯度驱动扩散:电子从 n 区扩散到 p 区,空穴反向扩散;
- 留下不可动的电荷:n 区失去电子后留下带正电的施主离子,p 区留下负电的受主离子 → 形成耗尽区(空间电荷区);
- 产生内建电场:方向由 n 指向 p,阻止进一步扩散;
- 平衡:漂移与扩散相消,净电流为零,费米能级处处相等(上一页的万能钥匙)。
能带在结区弯曲,弯曲的总量就是内建电势:
硅中典型值 0.6–0.9 V。注意 \(V_{bi}\) 随掺杂对数增长——这是本课的第一个"对数依赖",工程上意味着靠加大掺杂来提高内建电势收效甚微。
耗尽层宽度(突变结、耗尽近似):
两个重要推论:
- \(W \propto 1/\sqrt{N}\):重掺杂一侧耗尽区极薄,轻掺杂一侧承担大部分耗尽宽度。功率器件靠一侧轻掺杂的厚漂移区来承受高压(🔗 自动化站电力电子);
- 反偏使 \(W\) 变宽(\(V<0\)):这既是变容二极管的原理,也是 MOSFET 里漏端耗尽区侵入沟道、造成短沟道效应的根源(第五页)。
三、二极管方程
正偏时势垒降低,少子被大量注入对面;反偏时势垒升高,只剩极少的少子被抽走。推导(此处略过中间步骤,结论必须记住)给出Shockley 方程:
- \(I_S\) 是反向饱和电流,正比于 \(n_i^2\),因而对温度与带隙极其敏感;
- \(n\) 是理想因子(1–2,取决于复合机制);
- 室温下 \(V_T = 26\) mV,所以电压每增加约 60 mV,电流增大十倍(因为 \(\ln 10 \times 26\,\mathrm{mV} \approx 60\,\mathrm{mV}\))。
"0.7 V 开启电压"是一个方便的谎言:指数函数没有阈值,只是在线性坐标下看起来像。换成对数坐标,真相立刻显现——这是工程中"选对坐标就看清本质"的经典案例。
这个 60 mV/dec 极其重要:它源于载流子服从玻尔兹曼分布(热尾巴),是热力学决定的、无法通过改进工艺绕过的极限。第四页会看到它如何直接卡死了芯片的供电电压,进而造成功耗墙。
四、反向击穿
反偏电压足够大时电流骤增,两种机制:
- 雪崩击穿:高电场加速载流子,碰撞电离产生新的电子空穴对,链式放大。正温度系数(温度升高击穿电压升高),常见于轻掺杂结;
- 齐纳击穿:极重掺杂、耗尽区极薄时的量子隧穿。负温度系数,用于稳压二极管。
工程含义:击穿电压设定了器件的电压上限。这解释了为什么低压逻辑与高压功率器件在结构上完全不同——后者需要厚而轻掺杂的漂移区来分担电场。
五、结电容:速度的敌人
耗尽区像一个电容(两侧是准中性区,中间是绝缘的空间电荷区):
反偏越深,电容越小。加上正偏时的扩散电容(存储的少子电荷),二者共同限制开关速度。
这是本课第一个反复出现的主题:任何结构都自带寄生电容,而电容就是延迟与功耗。CMOS 中源漏结电容是负载电容的重要成分(第六页),互连电容更是先进节点的性能瓶颈。
六、在 CMOS 中的角色:隔离与寄生
在数字芯片里,pn 结主要不作为二极管使用,而是承担两个角色:
① 隔离:MOSFET 的源、漏(n⁺)与 p 型衬底形成 pn 结。正常工作时它们始终反偏,从而把器件彼此隔离。反向漏电流就是芯片静态功耗的一部分(第四页)。
② 寄生与失效:CMOS 工艺中 n 阱、p 衬底、源漏区会构成寄生的 pnpn 结构(可控硅)。若被噪声或静电触发导通,会形成从电源到地的低阻通路——闩锁效应(latch-up),可以烧毁芯片。防止闩锁是版图设计规则中一整套约束的来源(保护环、阱接触密度、间距规则)。
这是本课"抽象会漏"的第一个实例:数字设计者眼中只有 0 和 1,但衬底里潜伏着一个随时可能导通的寄生器件——物理层的现实会穿透逻辑抽象打上来。
七、要点
- 分析任何结构的三步法:画能带图 → 费米能级对齐 → 看载流子怎么走。后面 MOS 电容、异质结、太阳能电池全用这一套;
- 60 mV/decade 是玻尔兹曼极限,全课最重要的数字之一;
- 耗尽宽度 \(\propto 1/\sqrt{N}\),重掺杂侧薄;
- 一切结构都有寄生电容与寄生器件——这是从理想电路走向真实芯片的第一课。
下一页:MOSFET。把一个电极隔着绝缘层放在半导体上,用电场在表面"感应"出一条导电沟道——这是二十世纪最重要的发明之一,也是本课其余部分的主角。