本页目录

光源 III · LED 与半导体激光

层次:本科核心 | 🔗 直接接续微电子站第一、二页(能带、pn 结)。 从数量上说,半导体光源是最重要的光源——每部手机、每个数据中心、每盏现代灯具里都有。本页讲清它们的原理、效率来自哪里、以及为什么硅不能发光(这条限制塑造了整个硅光产业的技术路线)。

学习层:带隙先决定颜色,再决定器件路线

1. 具体谜题:为什么同一块半导体不能随便换颜色?

想做一个 1550 nm 通信光源和一个 450 nm 蓝光光源。用

\[\lambda[\mu\mathrm m]\approx\frac{1.24}{E_g[\mathrm{eV}]}\]

先反推两者需要的带隙:一个约 \(0.80\) eV,一个约 \(2.76\) eV。再把硅的 \(E_g\approx1.12\) eV 代入,得到约 \(1.11\,\mu\mathrm m\);这是否意味着硅能高效做可见 LED,还是还缺了一条动量守恒条件?

2. 先预测:LED、LD 与硅的分岔点在哪里?

先写下四项预测:① 直接带隙还是间接带隙更容易高效辐射复合;② GaN 折射率 \(n=2.4\) 时,芯片—空气临界角大约是 \(25^\circ\) 还是 \(60^\circ\);③ LED 加端面反馈后会不会自动成为低阈值单纵模 LD;④ 把注入效率、内量子效率和取出效率都提高 10%,EQE 是增加 30 个百分点还是按乘法改变。实验先让你选材料和器件,再揭示能带、取出和阈值账本。

3. 最小 mental model:\(E(k)\) 图上的一次跃迁

把导带最低点和价带最高点画在动量 \(k\) 轴上。直接带隙中它们横向对齐,电子—空穴复合主要交给一个光子;间接带隙需要声子补动量,辐射通道稀薄。LED 主要依靠自发辐射,LD 还需要反转、波导和反馈;双异质结把载流子与光场同时关在有源区。

4. 正式机制:能量、效率与激光阈值

光子能量近似 \(E_\gamma=hc/\lambda\),因此

\[\lambda[\mu\mathrm m]\approx1.24/E_g[\mathrm{eV}],\qquad \eta_{\rm EQE}=\eta_{\rm inj}\eta_{\rm IQE}\eta_{\rm ext}.\]

高折射率材料的逃逸锥受 \(\theta_c=\arcsin(1/n)\) 限制。半导体 LD 在此之外还需模增益补偿内损耗和镜面损耗,可用

\[\Gamma g_{\rm th}=\alpha_i+\alpha_m\]

作最小阈值条件;DFB 的光栅、VCSEL 的垂直腔和 FP 解理面是不同的反馈实现。带隙给颜色,却不单独给出效率、线宽、温漂或可制造性。

5. 静态实验:从带隙换算到 EQE 折扣

无 JavaScript 时的静态读法:固定材料表可先这样读:

目标/材料 \(E_g\) (eV) \(\lambda\approx1.24/E_g\) 结构结论
InGaAsP 通信光源 0.80 1.55 μm 直接带隙,适合 LD
InGaN 蓝光 2.75 0.451 μm 直接带隙,适合蓝 LED/LD
Si 1.12 1.107 μm 间接带隙,辐射复合弱

若 \(\eta_{\rm inj}=0.90\)、\(\eta_{\rm IQE}=0.80\)、\(\eta_{\rm ext}=0.50\),则 \(\eta_{\rm EQE}=0.36\),不是 \(0.90+0.80+0.50\)。GaN 的 \(n=2.4\) 给 \(\theta_c=\arcsin(1/2.4)\approx24.6^\circ\)。脚本可切换材料、效率折扣、LED/FP/DFB/VCSEL 架构和温度,画出 \(E(k)\)、逃逸锥和归一化 \(P-I\) 阈值曲线;先猜直接/间接与是否起振,再显示。

6. 反例与边界:带隙公式不是器件性能表

  • 间接带隙不等于绝对不发光。声子辅助、缺陷或应变工程可以产生辐射,但效率和带宽不能按直接带隙的简单图景估计;“硅不发光”是工程上的高效性判断。
  • LED 变成 LD 不只加一面镜子。还要有足够反转、波导限制、低损耗反馈和热管理;没有阈值余量时只会看到自发辐射。
  • EQE 的三项是乘法瓶颈。改善最小的一项常最有价值;大电流下俄歇复合、载流子泄漏和极化场还会造成 efficiency droop。
  • 材料颜色不等于系统波长稳定。温度、应力、腔模、封装和直接调制啁啾都会改变输出;通信发射端还要权衡 DFB 线宽、VCSEL 阵列与 TEC 功耗。

7. 迁移题:为应用选择光源与集成路径

为 1550 nm 长距通信、450 nm 显示背光和手机 3D 点阵投射分别选材料与架构。请把带隙、反馈方式、温度控制、调制带宽和封装取出效率写成一张规格表,并说明为什么硅光平台常采用外接或异质集成 III-V,而不是等待硅本身变成高效激光器。

Direct and indirect gaps, LED and laser diode

图 8-1 直接带隙中电子和空穴在相同 \(k\) 处跃迁即可放出光子,间接带隙还需要声子参与,因此硅几乎不发光。双异质结把载流子和光场都限制在有源量子阱内:LED 主要是自发辐射、光谱宽;LD 再用端面反馈产生受激辐射、光谱窄。带隙 \(E_g\) 同时决定发光波长。

一、直接带隙与间接带隙:一条决定性的分界

电子从导带跃迁回价带时释放能量。能量以什么形式释放,取决于能带结构:

这就是"硅不发光"的根本原因(🔗 微电子站第十八页说过它是硅光最大的结构性障碍)。它不是工艺问题,是硅的能带结构决定的物理事实——因此硅光子学至今必须外接 III-V 激光器或做异质集成。

发光波长由带隙决定:

\[\lambda\ [\mu\mathrm{m}] \approx \frac{1.24}{E_g\ [\mathrm{eV}]}\]

这是本页最实用的换算:要发 1550 nm(光通信窗口),需 \(E_g\approx0.8\) eV(InGaAsP);要发蓝光 450 nm,需 \(E_g\approx2.75\) eV(InGaN)。

二、LED:效率的层层折扣

结构:正偏 pn 结(通常是双异质结),电子空穴在有源区复合发光。

外量子效率的分解(这个分解方式很有工程价值):

\[\eta_{EQE} = \underbrace{\eta_{\text{inj}}}_{\text{注入}} \times \underbrace{\eta_{IQE}}_{\text{内量子}} \times \underbrace{\eta_{\text{ext}}}_{\text{取出}}\]

取出效率是历史上的主要瓶颈:半导体折射率高(GaN 约 2.4),由全内反射(第一页)

\[\theta_c = \arcsin(1/n) \approx 24°\]

只有很小的立体角内的光能逃出 → 大量光在芯片内被反复吸收。

对策(都是几何/结构手段):表面粗化、图形化衬底(PSS)、倒装结构、封装用高折射率硅胶、光子晶体。

效率下降(efficiency droop):InGaN LED 在大电流下 IQE 反而下降,机理(俄歇复合、载流子泄漏、极化场)至今仍有争论【争】。这限制了单颗 LED 的功率密度,是照明与 microLED 的实际约束。

白光的两条路线:

蓝光 LED 的意义(诺奖工作):没有高效蓝光就没有白光 LED——因为荧光粉需要蓝光激发。这是一个单点技术突破改变整个行业的典型案例,照明能耗因此大幅下降。

三、激光二极管

LED → LD 需要两样东西:粒子数反转 + 光学反馈(第六页)。

结构演进(每一步都是为了降低阈值电流):

结构 关键改进
同质结 阈值极高,只能低温脉冲
双异质结(诺奖工作) 同时限制载流子与光场 → 室温连续工作成为可能
量子阱(QW) 态密度改变 → 阈值更低、温度特性更好
应变量子阱 改变价带结构,进一步降低阈值
量子点 理论上温度稳定性最佳

双异质结的巧妙之处:宽带隙包层同时做两件事——势垒限制载流子、低折射率形成波导限制光场。一个结构解决两个问题,这是半导体激光得以实用化的关键。

主要类型:

关键特性:

四、其他半导体光源

五、与微电子站的接续

这一页是两站咬合最紧的地方:

概念 微电子站 本站
能带与带隙 决定 MOSFET 的阈值与漏电 决定能否发光、发什么颜色
pn 结 隔离与寄生 发光与探测的核心结构
直接/间接带隙 提到"硅不发光" 展开其能带原因与后果
异质结与外延 应变硅、SiGe 双异质结、量子阱是激光的基础
集成 Chiplet、封装 III-V 与硅的异质集成(第十五页)

一句话:微电子用半导体控制电子,光电用半导体在电子与光子之间转换。 两者共享材料与工艺基础,目标不同。

六、要点


线二结束。下一线转向另一端:光如何被探测。这里会遇到本课最根本的物理极限——光子的散粒噪声。